2024-12-28 00:34:28
關(guān)于哪款真空計(jì)應(yīng)用廣的問題,并沒有一個準(zhǔn)確的**,因?yàn)檎婵沼?jì)的選擇往往取決于具體的應(yīng)用場景、測量范圍、精度要求以及成本等因素。然而,從多個角度綜合考慮,以下幾款真空計(jì)在不同領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用:擴(kuò)散硅壓阻真空計(jì):應(yīng)用范圍:高精度加工和測量領(lǐng)域,如航空航天、半導(dǎo)體制造、科學(xué)研究、真空焊接、金屬冶煉、光伏裝備等。原理:利用硅的壓阻效應(yīng),即電阻隨著外界壓力的變化而產(chǎn)生相應(yīng)的變化,通過改變其電阻來實(shí)現(xiàn)對壓力的測量。特點(diǎn):高精度、高穩(wěn)定性、抗腐蝕性強(qiáng)、重復(fù)性好等。真空計(jì)選型需要注意什么?金屬電容薄膜真空計(jì)供應(yīng)商
MEMS電容真空計(jì)是一種利用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)制造的電容式真空計(jì)。以下是對MEMS電容真空計(jì)的詳細(xì)介紹:
基本原理MEMS電容真空計(jì)基于電容變化的原理來測量真空度。它包含一個彈性薄膜作為感測元件,當(dāng)外界氣壓改變時,薄膜會發(fā)生形變,進(jìn)而改變與上下電極之間的電容值。通過測量這種電容變化,可以計(jì)算出真空度的值。具體來說,當(dāng)真空度增加時,薄膜受到的壓力減小,發(fā)生向上的形變,導(dǎo)致與上電極之間的電容增加;反之,當(dāng)真空度減小時,薄膜受到的壓力增大,發(fā)生向下的形變,導(dǎo)致與上電極之間的電容減小。 上海金屬真空計(jì)生產(chǎn)廠家皮拉尼真空計(jì)通常用于測量低壓氣體或真空系統(tǒng)中的壓力。
真空計(jì)按測量原理分類
靜態(tài)液位真空計(jì)測量原理:利用U型管兩端液面差來測量壓力。彈性元件真空計(jì)測量原理:利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小。但直接測量這樣小的力是困難的,因此可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來間接測量壓力的變化。壓縮式真空計(jì)測量原理:在U型管的基礎(chǔ)上應(yīng)用波義耳定律,即將一定量待測壓力的氣體,經(jīng)過等溫壓縮使之壓力增加,以便用U型管真空計(jì)測量,然后用體積和壓力的關(guān)系計(jì)算被測壓力。熱傳導(dǎo)真空計(jì)測量原理:利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)的原理制成。示例:電阻真空計(jì)、熱偶真空計(jì)等。熱輻射真空計(jì)測量原理:利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)的原理。
辰儀MEMS電容真空計(jì)是辰儀完全自主開發(fā)的,采用MEMS技術(shù)開發(fā)的電容真空計(jì),該真空計(jì)是通過直接的壓力變化產(chǎn)生的電容值的變化得出真空度的一種真空測量方法,精度可達(dá)到萬分之一,且不受氣體種類的限制的優(yōu)點(diǎn),是高精度高穩(wěn)定性真空測量的理想選擇。
辰儀MEMS電容真空計(jì)是辰儀完全自主開發(fā)的,采用MEMS技術(shù)開發(fā)的電容真空計(jì),該真空計(jì)是通過直接的壓力變化產(chǎn)生的電容值的變化得出真空度的一種真空測量方法,精度可達(dá)到萬分之一,且不受氣體種類的限制的優(yōu)點(diǎn),是高精度高穩(wěn)定性真空測量的理想選擇。 真空計(jì)的維修與保養(yǎng)。
不同類型的真空計(jì)采用不同的物理機(jī)制進(jìn)行測量,主要包括以下幾類:
利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的真空計(jì):如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī),它們利用氣體在流動過程中產(chǎn)生的熱效應(yīng)或電效應(yīng)來測量真空度。皮拉尼電阻規(guī)是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同,當(dāng)給熱絲加恒定的電流時,由于氣壓不同通過氣體傳導(dǎo)走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同,通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,只是它不用測量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化。
利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì):如熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),它們通過測量氣體分子在電離過程中產(chǎn)生的電流來推算真空度。這類真空計(jì)在高真空領(lǐng)域具有極高的測量精度。 皮拉尼真空計(jì)是一種測量真空壓力的儀器,它是根據(jù)皮拉尼原理制成的。江蘇mems電容真空計(jì)生產(chǎn)企業(yè)
電容薄膜真空計(jì)的校準(zhǔn)注意事項(xiàng)有?金屬電容薄膜真空計(jì)供應(yīng)商
真空計(jì)可以按照測量原理、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)以及使用范圍等進(jìn)行分類。其中,按照測量原理分類是**常見的方式。不同類型的真空計(jì)具有不同的測量范圍和精度。例如:波爾登規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。薄膜電容規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。熱陰極電離規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa,經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規(guī)(如Bayard-Alpert規(guī))可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。冷陰極電離規(guī)的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。金屬電容薄膜真空計(jì)供應(yīng)商